半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体芯片一个首测配备涉重废水处理工艺——MVR禁止配置零排顶目
建设项目的背景
半导体设备器件高端定制测封顶目,大规模150每立方米/天,是首只半导体设备器件测封一体化涉重废液零排顶目。测封过程的镀镍、镀铜、引线骨架清洁会引发含镍含铜废液,该项目追求"无尾水外排",产水基本工业废水处理于产线。
水体症状与突破点
废气以含镍为核心(有机废气浓度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH下跌大(2–12),也有光刻胶存留的多量有机物。测封厂现场紧,的标准操作措施占地赔偿小;零排暗示着着浓水可以土石方很多,一定要本地人挥发心得反馈控制。
整工院艺路线地图
整体性走"分质回收利用 → 预操作除杂 → 药剂学沉淀物除镍 → 过虑 → UF+多级RO → MVR立即配置挥发 → 空调蒸发器水中水回用":
含镍线先调pH到10–11,加药氢脱色钠生成二维码Ni(OH)₂水解,后加混炼钠程度收集残留物镍(混炼镍Ksp比氢脱色镍更小,能让镍压到0.1毫克/升下例);
乳浊液溢水经多媒介过虑+门卫过虑后进UF,再进1级RO,产水进行回产线的清洗;
RO浓水(含盐+残留高价属)进MVR禁止性要求间歇汽化器,禁止性要求间歇能扛高含盐结渣,汽化器內置高清在线清晰,难以堵;
MVR冷凝器水赶回到循环蓄水池,蒸发掉残液委外梵烧或算作危险废弃物处治,所有工厂无固体外排。
根本主设备优势之处代表
MVR直接重复优于常见降膜挥发,重复气速高、制热面更易结镍盐/碳酸盐垢,适测封一些"容量不多但水的硬度杂"的3d场景;混合式化撬装构思征地赔偿比一般挥发塘+多效挥发设计方案小60%上述;恶臭侧服务设施生物体滤池,把调整池和生活污水间的恶臭分类整理后光降解成CO₂和水,尽量避免测封厂紧挨办公楼区的怪味投述。
正确处理结果与盈利能力
喷水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,不同于《镀膜的有害物质废气要求》表三;都150m³米/天产水循环于首测产线难以清理,代替品等量最新鲜水;危险废物(蒸发器残液+生活污水)量比民俗"沉定+废气"模型减约70%。对富士康侧,首测項目生态环保准入条件卡点被揍通;