某光电器件电源芯片生引发产厂在晶圆处置过程中中,在使用硅烷实现硅外加衍生,尾气排放洗涤剂塔引发高密度含硅污废水 处置技术。污废水 处置技术存在pH冲击大(2-11)、硅含氧量高的特质,普通处置技术易有硅垢拥堵故障 。
工业废水材料及的来源
废液常见物质为:
可溶性高,溶于水的性硅酸盐
:SiO₂酸度达1000-1500mg/L
硫酸钠/氢空气氧化钠
:清洗剂塔腐蚀性清洗剂液杂质
颗粒状硅
:納米级SiO₂电解质溶液
痕量砷
:奶茶原料溶物携带
治理工艺设备流程步骤
科学创新选用"两极采和+膜进行过滤+蒸发掉凝结"艺:
一級结合
:用CaO调理pH至4-5,生产硅酸钙沉淀出的,硅彻底清除率60%。
一级采和
:加Na₂CO₃将pH增加至9,进一大步沉淀物中多余硅,串联用镁剂除砷。
反渗透装置整体
:0.02μm淘瓷膜净化奈米级硅粉末,通量增强在80LMH。
MVR蒸发掉器
:溶缩高盐废污水,凝结出Na₂SO₄副类产品,水造纸废水处理率超90%。
进而效用
总硅从1500mg/L高于5mg/L下类
砷水分含量从0.8mg/L降落到0.01mg/L
平台无积灰运作高于2年
第一年收废硫酸钠钠结晶约800吨