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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为84英寸晶圆产量线模块化的超去离子水操作系统,每周呈现含硅废污水150吨。废污一般的水都虽无巨资属,但硅水分含量高易结渣,且电容率需以达到18MΩ·cm可以造纸废水外理。本身外理工学院艺不可能需要满足新废止的《光电实业水被污染的物污染物规格》(GB39731-2020)特意污染物卫生防护距离。 废渣含量特殊性 主要危害物 :溶液硅(200-300mg/L)、粒子硅(比表面积0.1-1μm) 特定需要 :TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L 水体质量的特点 :低导电率(<50μS/cm)但硅有机化合物性状繁多 加工的工艺工作流程 自主创新主要采用"梯级膜提取+电去亚铁离子"组合构成技术: 微滤预办理 :1μm卫浴陶瓷膜屏蔽大颗粒状硅,通量维系80LMH 铝离子对换聚酯树脂 :D201大孔树脂胶挑选性物理吸附硅酸分子式 一级RO系统的 :第一名段回收并率60%,第二步段按照高脱硼膜组件 EDI电去正离子 :瞬时电流体积密度2A/m²,快速出掉残留物正离子 太阳光的紫外线消毒 :254nm紫外光线残留量40mJ/cm² 枝术突出点 研发转用阻硅剂(充分胺类黏结物),减轻膜影响过渡期3倍 EDI模块图片创新性流道设计构思,硅快速清理率加快至99.8% 再线硅剖析仪(侧量规模0.1-500μg/L)的控制会员精准营销的控制 运动成效显著 经3、方加测: 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L降为0.3μg/L 整体收售率从原40%升降至68% 膜换成周期性延时至5年,年工作投入降低35%

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