该晶圆研制厂地属华南中北部，其主要分娩89英寸半导体技术晶圆，平均废污水污染物量约800吨。仍然分娩时中选择多氢氧化钠进行晶圆蚀刻，致使废污水面氟化物质量浓度达200-300mg/L，远超国家地区污染物标（10mg/L之下）。 废水处理工艺营养成分及由来 生活污水最主要产于3个重要环节： 晶圆蚀刻生产工艺 ：含高渗透压氟化物（HF）、硝酸钠及一定量巨资属 催化机械厂打磨抛光（CMP）生产废水 ：含納米级硅颗料、可挥发络合剂 设施洗掉废液 ：含异丙醇、氧化还原电位等有机化学物 进行处理工艺设备流程图 选用"化学物质乳浊液+沥青混凝土乳浊液+深度.过滤清洁"两级处置系统的： 一級进行处理 ：添加氯化钙和氢硫化钙，变成氟化钙发展，氟化物出掉率达85% 两级进行处理 ：生成PAC（缔合氯化铝）和PAM（聚丙酰胺），除掉氢氧化铁态感染物 一级解决 ：能够多媒质过滤装置器和活性酶类炭树脂吸附，水流氟化物浓度值稳定可靠在8mg/L低于 重要的设配比如：pH半自动改善系统软件、斜管沉积池、板框板框压滤机（废水脱水过滤）。 终极功效 投资项目加载四年监测技术数据统计彰显： 氟化物人均氧化还原电位：7.2mg/L（不高于的国家准则） COD清理率：92% 污泥处理水分含量率：≤65% 年回笼氟化钙副食品约150吨，构建网络污泥处置利用